Elektronenmikroskop

Elektronenmikroskop, Gerät zur stark vergrößerten Abbildung kleinster Objekte mittels Elektronenstrahlen. Bei optischer Vergrößerung kleiner Objekte ist das ⇒ Auflösungsvermögen durch die Wellenlänge des Lichts begrenzt. Bei sichtbarem Licht kann man noch Punkte auftrennen, die 0,2 µm voneinander entfernt sind. Mit Elektronenstrahlen lässt sich ein bis 2000-fach höheres Auflösungsvermögen erreichen und damit Objekte über 200000-fach vergrößern. Je nach der Methode, nach der Elektronenstrahlen zur Objektabbildung benutzt werden, unterscheidet man zwischen Durchstrahlungse., Elektronenemissionsmikroskop und Rastere.

    Das Durchstrahlungse. entspricht in seinem Aufbau dem Lichtmikroskop; damit können Präparate von etwa 0,1 µm Dicke (⇒ Ultramikrotrom) vergrößert abgebildet werden. Der von einer Kathode abgegebene und mit einer Anodenspannung von bis zu 1,5 MV beschleunigte Elektronenstrahl wird mit einer magnetischen Elektronenkondensorlinse gebündelt und auf das Objekt gerichtet. Die Elektronen, die das Objekt entsprechend seiner Struktur verschieden stark durchdringen, werden mit einer magnetischen Objektivlinse zu einem reellen Elektronenzwischenbild gesammelt, das über eine Projektionslinse auf einem Bildschirm oder einer Photoplatte sichtbar gemacht

wird.

    Mit dem Elektronenemissionsmikroskop kann man metallische oder metallisierte Objektoberflächen untersuchen. Die zu untersuchende Oberfläche gibt bei Bestrahlung Sekundärelektronen ab, die mit Hilfe eines Elektronenlinsensystems ein Abbild der Fläche liefern. Im Rastere. werden nach dem gleichen Prinzip Oberflächen im Raster mit einem Elektronenstrahl abgetastet. So erzeugt man dreidimensionale Oberflächenbilder mit großer Tiefenschärfe.